环形压电执行器助力微纳定位速度与负载能力提升

Physik Instrumente（PI）推出PICA-Through环形压电执行器，在保持中心通孔开放的同时，可实现快速、纳米级的精密定位，可在光学、光子学、显微镜、计量和精密制造等领域发挥一定作用。

高负载与纳米级运动

PICA-Through结合了线性压电堆栈和压电管执行器的特点，共有12种标准型号，外径分别为10、16和25毫米，内径分别为5、8和16毫米。其最大行程可达80微米，阻挡力最高达9600牛，刚度最高为580牛/微米，并提供兼容真空环境的版本。压电陶瓷能够将电能直接转换为机械位移，响应时间达到亚毫秒级，分辨率低于1纳米。

由于不使用齿轮、轴承等机械传动部件，该执行器具有高刚度、快速响应、零回差和低颗粒产生等特点，适合对稳定性和定位精度要求较高的微纳制造设备。

中心通孔便于系统集成

执行器的通孔结构允许光纤、探针、电缆、真空管路、流体通道和光束从中心穿过。由此可以构建围绕光轴或机械轴运动的同轴结构，减少系统尺寸，提高机械刚度，并简化线路和管路布置。

开放式中心结构还允许相机、传感器和测量探针从执行器内部接近目标部件，同时对周围组件进行精确定位。这一特点对于空间受限的精密光学、机械测量和微装配系统尤为重要。

面向多种精密应用

据PI描述，PICA-Through可用于：

• 光纤对准
• 光学腔调谐
• 物镜和透镜定位
• 激光光束传输
• 自适应光学
• 微流体控制
• 精密点胶和微量分配
• 阀门驱动

对于需要高负载、大刚度和快速响应的纳米定位平台，环形压电执行器可以减少复杂机械传动，提升系统的动态性能和长期稳定性，并支持光学、流体和电气功能在同一设备中的紧凑集成。

---

相约深圳，共话微纳光学制造新机遇

第七届中德（欧）合作创新·MEMS微纳光学制造论坛，将于9月9日在深圳会展中心（宝安）召开，与深圳光博会首日同期举行。本届论坛由深圳市微纳制造产业促进会、深圳市汉希卡德智能传感应用技术研究院主办，微纳视界承办，将汇聚国内外微纳制造领域的企业代表、专家学者及产业嘉宾，围绕微纳技术产业链发展、前沿技术创新与产业协同合作，开展主题演讲及圆桌对话。

现面向行业开放参会报名、嘉宾演讲、企业展示及品牌赞助合作，诚邀微纳制造产业链上下游企业与业内同仁齐聚深圳，共话技术趋势，共拓合作机遇。点击下方图片可下载本届大会赞助及合作方案（内附联系方式）

---

原文：PI speeds up nanopositioning with high-load ring-type PZT actuators