国产高端离子束装备再下一城：中核同创全自动大口径离子束刻蚀设备正式发货

2026年7月6日，中核同创（成都）科技有限公司（以下简称“中核同创”）为客户定制开发的全自动大口径离子束刻蚀专用装备，在顺利完成整机核验和精密封装后，正式启运发货。此举标志着中核同创在原子级精密离子束加工装备的定制化研发领域取得重大突破，向国产高端离子束装备的产业化应用迈出了坚实一步。

全自动运行与核心组件自主化

此次发货的全自动大口径离子束刻蚀设备，整机搭载了自主化大口径离子源单元，并配套全自动真空腔体、智能传输系统及闭环控制系统。该设备实现了从上料、工件传输与翻转、刻蚀到下料的全流程无人值守全自动运行。

在性能指标上，该设备可稳定实现纳米级精密形貌加工，能够满足大尺寸光学元件、半导体宽禁带材料、精密光栅、MEMS器件等高精度微纳加工需求。出厂前，设备顺利完成了72小时满负荷不间断自动化联调测试，对全自动运行逻辑、束流稳定性、真空漏率、安全联锁防护等全部核心性能参数逐项核验校准，所有指标均精准达标。

针对客户的特殊工况需求，项目团队重点攻克了大口径束流均匀性、长时连续运行稳定性、全自动真空联调、工件多姿态旋转与传输等多项技术难点。经多轮工艺模拟和全流程出厂联调，设备的自动化程度和刻蚀均匀性等指标均提升至行业先进水平。

离子束刻蚀装备被誉为原子级精密加工的 “工业手术刀” ，广泛应用于核聚变材料处理、半导体、光子芯片、精密光学、量子器件、同位素去污等前沿领域。长期以来，该领域的高端装备高度依赖进口，此次设备的成功研发有效破解了这一行业痛点。

研发历程：产学研协同攻关

在设备研制过程中，核工业西南物理研究院与中核同创公司高度重视，管理层统筹协调，组建了项目攻关专班。团队同步推进设备结构优化、真空系统适配、离子源迭代、自动化控制分系统集成等核心研发工作，实现了各模块的并行高效攻坚与无缝衔接。

在生产制造阶段，项目团队严守高端精密装备质量管控体系，对腔体精密焊接、高精度运动平台装配、离子源核心组装、电气系统集成等关键工序实施了全流程、全覆盖的精细化检测。

国产高端装备产业化的重要里程碑

中核同创（成都）科技有限公司成立于2021年，由中核投资有限公司与核工业西南物理研究院共同持股。公司依托核工业西南物理研究院30余年的等离子体技术积累，专注于等离子体技术的应用研发与产业化。作为中核集团深耕等离子体与离子束技术应用的专业化公司，中核同创长期聚焦大口径离子源、全自动真空加工设备的国产化，先后推出多款适配不同应用场景的离子束加工成套设备，服务国内多家科研院所与商业客户。

此次定制化全自动大口径离子束刻蚀设备顺利完成全流程测试并启运发货，既体现了客户对中核同创技术实力与定制化服务能力的高度认可，也是中核同创推动离子束高端装备自主化、产业应用化的重要里程碑。

下一步，中核同创表示将持续依托在等离子体应用领域的技术积淀，聚焦大口径、高自动化、高精度离子束装备的迭代升级，不断拓展半导体、精密光学、聚变材料等应用领域的成套解决方案，以自主创新硬核装备助力国内高端精密制造产业高质量发展。