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手套箱专用等离子清洗机

产品介绍
详情介绍

一、CIF手套箱专用等离子清洗机

CIF推出VGB-P系列手套箱专用等离子清洗设备,优化的腔体结构及合理的结构设计更适合手套箱内使用。安装简单方便,性能稳定,实用性强,容易维护。     

二、产品特点

7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示

PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

真空仓体,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

自动匹配器,功率无极可调。

采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计双路气体控制气体流量,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用

HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

弧形等离子激发板,等离子激发能力更强。

分体式设计,便于手套箱内使用。

安全保护,仓门打开,自动关闭电源。

三、技术参数

型号

VGB3

VGB3Plus

舱体尺寸

D178xΦ150mm

D178xΦ150mm

舱体容积

3L

3L

射频电源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

激发方式

电容式

电容式

射频功率

10-300W可调

10-150W可调

气体控制

双浮子流量计(标配)

有效处理尺寸

L200xW155mm

时间设定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

AC220V 50-60Hz

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  • 品牌
    矢量科学
  • 型号
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  • 产地
    中国
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