v 解像力：≤350nm
v 投影倍率：1:5
v 市场尺寸：20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)
v 光源：i-Line 365nm
v 掩膜版尺寸：5inch/6inch(可选)
v 晶圆尺寸：50mm（2inch）/75mm（3inch）/100mm（4inch）/150mm（6inch）/200mm（8inch）（可选）
v 套刻精度：≤40nm
v 设备尺寸：（W）1900*（D）2600*（H）2450mm
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