利用独自的高速描画「Point Array方式」技术直接描画图形的装置。
主要特长能够用于研究开发、试作、小批量生产等的直描曝光。能够对应半导体、电子零件、高端PCB、高密度封装件、MEMS、FPD等的曝光。由于在光刻工艺中不需要掩膜,因而可以最大限度地降低开发成本和缩短市场供应时间。此外,还可以根据客户需求,提供相应的装置构造。
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