Trancendor®晶圆真空传输系统

Trancendor®平台系列是微导纳米独立研发的、适用于高产能半导体制程设备的晶圆传输系统。该系统可根据客户工艺需要，灵活挂载一至多个工艺腔体（每个工艺腔体可配备一至多个工作站）在真空环境下进行快速高效晶圆传输。