俄罗斯ZNTC完成130nm光刻机样机开发,量产仍需数年
2026-10-06
佳能推出FPA-6400ES6a KrF半导体光刻机:吞吐量400片/小时,套刻精度4.0nm业界领先
上海微进博会首秀新一代前道光刻机剖视模型:关键零部件国产化率超90%,累计流片超千万片
日本佳能计划2027年将光刻设备产量提升至多两倍
联合化学参股公司米莱芯程完成3.61亿元增资,聚源创投、深圳华控等多家机构参投
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