东南大学2026年10月政府采购意向—微纳平台12寸电子束蒸发台采购详细情况

A020699其他电气设备

微纳系统国际创新中心采购电子束蒸发1套，主要技术要求如下：工艺腔室的真空获得采用冷泵和干泵的方式，腔体极限真空≤ 9×10-8Torr (8个小时)；腔体直径≥ 1300 mm，腔体高度≥ 1100 mm；工件盘可以承载Φ150 ~ Φ300基片；配置至少两套石英晶振膜厚监控系统。