亚2纳米表征提速：布鲁克发布两款微纳材料SEM探测器

布鲁克公司在Microscopy & Microanalysis 2026上发布两款扫描电子显微镜探测器：面向纳米晶体结构分析的eWARP TKD，以及可同步完成元素分析和背散射电子成像的XFlash FlatQUAD 2L。新产品主要服务于半导体、薄膜、二维材料、能源材料和纳米结构合金等领域。

eWARP TKD实现亚2纳米空间分辨率

eWARP TKD是一款透射菊池衍射探测器，将直接电子探测技术与宽面积像素化传感器结合。其采用162×162像素传感器，有效探测面积为26×26平方毫米，采集速度最高可达5700帧/秒。

据布鲁克介绍，该设备对弱衍射信号具有较高灵敏度，数据采集速度可达到传统TKD系统的约10倍。与场发射扫描电子显微镜配合使用时，能够实现低于2纳米的空间分辨率，并在更大区域内分析晶粒取向、相结构和局部晶体缺陷。

探测器还采用片上像素合并技术，可快速生成类似明场和暗场的图像，为材料微观结构分析提供补充信息。在原位实验中，研究人员还可实时观察受热、受力或电化学反应过程中材料结构的变化。

同步获取元素与形貌信息

XFlash FlatQUAD 2L采用四分区环形硅漂移探测器，安装在扫描电子显微镜物镜极靴与样品之间，可同时完成能量色散X射线光谱分析和背散射电子成像。

这种同步探测方式能够在一次扫描中获取元素组成与成分衬度数据，减少重复扫描和图像配准带来的误差，同时降低电子束对敏感样品的照射剂量。其应用对象包括半导体器件、电池电极、纳米颗粒、生物样品以及聚焦离子束制备的薄片等。

对于多相或成分不均匀的材料，该探测器可用于识别元素分布、材料界面、表面涂层、污染物、结构缺陷及退化机制，帮助研究人员建立材料成分与微观结构之间的对应关系。

两款探测器分别从高速纳米晶体学分析和多模态成分表征入手，提升了扫描电子显微镜在微纳尺度上的检测能力。对于先进制程研发和微纳制造质量控制而言，更快的采集速度及更高的空间分辨率，有助于扩大检测区域并缩短复杂样品的分析时间。

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原文：Bruker Announces Major Advances in Detector Technology for Semiconductor, Thin Film, Energy Materials and Nanostructure Characterization