Lam Research与PSK就斜角蚀刻机专利图纸展开交锋，法院将审查原始设计图

美国半导体设备巨头泛林集团（Lam Research）与韩国半导体设备公司PSK就斜角蚀刻机专利侵权诉讼中关键部件设计图纸的披露范围产生分歧。首尔中央地方法院第62民事部于8月13日举行该案第五次听证会，提出折中方案：将在下次听证会上审查PSK相关部件的原始图纸。

PSK 的 PRECIA 斜面蚀刻机（来源：PSK）

案件背景

泛林集团于2021年提起诉讼，指控PSK的斜角蚀刻机侵犯其专利，要求赔偿6亿韩元（约合人民币318万元）并处置相关设备。PSK则反诉要求宣告该专利无效。

斜角蚀刻机用于去除晶圆边缘（即斜角区域）形成的不稳定金属和非金属薄膜。PSK已成功实现该技术国产化，并向SK海力士等客户供货。此前泛林集团长期垄断斜角蚀刻机市场，其Coronus系列设备即为此类产品。

争议焦点：气体扩散环的结构

听证会焦点集中在PSK设备内部一个部件的实际结构上。泛林集团称该部件为气体扩散环（GDR，Gas Diffuser Ring），用于在蚀刻设备内部均匀分布和控制气体。

GDR呈环形结构，中心开口。泛林集团持有该设计的独家权利，专利号为10-1,249,247（简称247专利）。而PSK则辩称其部件为中心封闭的面板。

泛林集团的主张

代理泛林集团的金·张律师事务所表示，PSK提交的附件30将该部件标识为“GDR”，业界参与者能轻易理解该部件是环形而非PSK所声称的面板。

泛林集团法律团队指出，部件横截面图纸显示左右边缘存在倒角（即机械部件锐边经斜切处理的工艺）。律师认为，如果该部件是面板，横截面应显示左侧或中心一半像晶圆一样连续延伸且边角呈直角。两侧的倒角清楚证明部件中心凹陷，形成环形结构。

泛林集团还对PSK提交文件中型号和尺寸等规格信息的遮盖提出异议，要求披露未经涂黑的原始文件以初步判断部件结构。

PSK的反驳

PSK法律代表BKL反驳称，使用“GDR”只是按照行业惯例的一次性命名错误，实际产品规格书等正式文件对该部件有不同标识。PSK认为泛林集团仅凭一次命名错误就提出不合理主张。

PSK强调已提交设备实时运行视频。视频显示PSK的PRECIA斜角蚀刻机没有对应GDR的下部环形结构，而是采用中心封闭的面板结构。PSK将PRECIA列为旗下斜角蚀刻产品之一。

关于遮盖信息，PSK律师辩称与部件形状无关的详细尺寸和规格属于PSK商业秘密，泛林集团作为直接竞争对手，是在借诉讼获取竞争企业的商业秘密。

PSK再次提议在其制造工厂进行实际设备现场检查，但泛林集团律师以PSK可能在检查中展示不同产品而非实际PRECIA设备为由予以拒绝。

法院折中方案

双方僵持不下之际，法院提出折中方案：由于泛林集团主张原始材料中的图形能区分环形和面板，PSK应在下次听证会上携带未经涂黑的原始图纸，以便在法庭内审查。

该方案件许法院按照泛林集团要求的方式查看原始材料的相关图形，而不将文件正式提交入卷，以避免暴露商业秘密的风险。PSK律师请求法院首先审查原始图纸，如果认为有必要进一步检查，则允许泛林集团法律团队的一名律师进行补充审查，泛林集团方面表示同意。

相关进展

泛林集团正式撤回了对涉案专利中第1,468,221号专利（221专利）的侵权主张，该专利已被专利法院裁定无效。泛林集团曾向知识产权审判和上诉委员会申请更正专利权范围，但于8月3日被驳回。

两家公司斜角蚀刻机专利诉讼的下次听证会定于9月举行。案件走向将取决于原始图纸的审查结果以及双方是否推进专家鉴定程序。

参考信息出处

• 原文报道及相关韩媒（The Elec等）关于本案历次庭审的报道
• 中国电子工程专辑等媒体对本次庭审的综合报道：https://www.eet-china.com/news/202608146010.html
• 泛林Coronus产品页及相关专利公开信息

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