先进电镀用于先进封装——布鲁克大学部署Solstice系统，推进3D异构集成研发

全球领先的微电子制造用电镀与湿法处理设备供应商ClassOne Technology今日宣布，其加拿大首个客户——位于魁北克省舍布鲁克的舍布鲁克大学（UdeS）——已采购一台Solstice® LT单晶圆处理系统用于先进封装研发。该系统安装在大学著名的跨学科技术革新研究所（3iT） 内，取代了原有的手动湿法操作台，提供精密自动化电镀能力，显著提升工艺控制水平和重复性。

该台Solstice LT设备配置了用于铜（Cu）电镀和锡银（SnAg）合金电镀的CopperMax和Gen4 ECD腔室，将主要用于晶圆级凸点（pillar）结构的电镀。未来还将拓展应用于先进封装中的铟（In）电镀，以支持UdeS在人工智能（AI）、量子计算、微机电系统（MEMS） 以及异构三维集成等关键研究领域的前沿探索。

“我们非常激动能将ClassOne的Solstice LT系统整合进我们的先进研究能力中，”舍布鲁克大学教授、3iT研究所纳米加工设施联合主任Dominique Drouin表示，“该设备将使我们能够获得所需的精度和重复性，从而在我们推进异构集成边界的同时，加强与学术及产业合作伙伴的协作。” Drouin进一步指出，该设备还将提升由舍布鲁克大学量子研究所（IQ）、3iT研究所和位于加拿大魁北克省布罗蒙的微电子创新协作中心（C2MI） 组成的“集成创新链（Integrated Innovation Chain）”的能力。

舍布鲁克大学3iT研究所是加拿大高科技研究生态系统中关键的学术力量，致力于推动微电子尖端技术的进步。Solstice LT系统的安装不仅惠及UdeS，也将助力其与行业领军企业持续的研究合作，推动北美半导体领域的创新。

“此次在3iT研究所的安装——也是我们第五个大学合作项目——符合我们支持先进半导体技术前沿研究的使命，”ClassOne Technology首席执行官Byron Exarcos表示，“通过为UdeS的研发电镀应用实现湿法工艺自动化，Solstice LT将提升工艺控制与重复性，为下一代研究提供高性价比、高性能的解决方案。”

Solstice LT系统的安装和工艺启动已于2025年第一季度（Q1） 完成，目前正与Teledyne MEMS、IBM加拿大以及C2Mi合作开展研究项目。

关于ClassOne Technology

ClassOne Technology是先进单晶圆湿法处理解决方案的领先供应商，提供高性能电镀与表面处理系统，助力实现下一代半导体创新。ClassOne的Solstice®平台专为最大化精度、灵活性和效率而设计，服务于广泛的客户群体——从行业领导者到开拓性技术开发商，覆盖MEMS、化合物半导体、功率器件、光子学和先进封装等关键市场。凭借深厚的工艺专业知识和以客户成功为宗旨的承诺，ClassOne赋能客户加速开发、提高良率并优化面向最严苛应用的生产。访问 classone.com；通过 LinkedIn 和 X 保持联系。

关于舍布鲁克大学3iT研究所（Interdisciplinary Institute for Technological Innovation - 3IT)

跨学科技术革新研究所（3iT）是舍布鲁克大学的研究中心，致力于五大主要领域：健康、数字技术、可再生能源、机器人技术以及技术向社会转移。其研究社群拥有54名研究员和80名研究支持人员。3iT每年在合作研究项目上投入超过3000万美元，并目前与产业界合作培养350名学生。其六个不同的技术平台拥有价值6000万美元的设备，并有12个研究主席在研究所内开展活动。

来源： 环球通讯社 (GlobeNewswire)