【拟建公告】启元实验室——微纳系统设计集成与测试平台集成子平台建设项目
2024-10-16
微纳系统设计集成与测试平台集成子平台建设项目
拟建公告|审批信息通信有联系方式有附件
微纳系统设计集成与测试平台集成子平台建设项目
建设地点：大中富乐村北红螺东路21号院内B栋
公示时间：2024-10-14至2024-10-18
受理时间：2024-10-14至2024-10-18
项目概况：本项目租用北京市怀柔区怀柔镇大中富乐村北红螺寺路21号院内B栋厂房新建8英寸微纳系统集成子平台1个。项目实施后仅开展研发实验，不进行工业化生产。本项目针对MEMS器件及结构、专用芯片及新型微纳系统的自主研发，年实验量约1.8万片8英寸基片。
一、项目概况
项目名称：启元实验室微纳系统设计集成与测试平台集成子平台建设项目
建设单位：启元实验室
建设性质：新建
项目内容：新建8英寸微纳系统集成子平台1个，采取体硅SOG、压阻以及TSV三维异质异构集成工艺，实现体硅陀螺仪、加速度计和压力计等先进MEMS器件研制。项目实施后仅开展研发实验，不进行工业化生产。本项目于2024年3月取得北京市怀柔区经济和信息化局关于本项目的备案变更证明（京怀经信局备[2024]8号），备案证明见附件。
二、主要设备（部分）
| 【17-26】原子力显微镜系统 | 【D1-06】台式万用表 |
| 【17-27】激光共聚焦拉曼显微镜 | 【D1-07】阻抗分析仪 |
| 【17-28】红外晶圆检查显微镜 | 【D2】MEMS 器件机械结构测试 |
| 【17-29】晶圆测温系统 | 【D2-01】超焦深多角度成像系统 |
| 【17-30】X 射线衍射仪 | 【D2-02】手动探针台 |
| 【17-31】接触角测量仪 | 【D2-03】数字示波器 |
| 【17-32】4D 显微镜 | 【D2-04】信号发生器 |
| 【17-33】激光测振仪 | 【D2-05】直流电源 |
| 【17-34】激光干涉仪 | 【D2-06】台式万用表 |
| 【17-35】激光干涉仪 | 【D2-07】逻辑分析仪 |
| 【17-36】高精度压电位移台 | 【D3】MEMS 器件失效分析测试 |
| 【17-37】大行程压电位移台 | 【D3-01】高精度红外热像仪 |
| 【17-38】等离子体光谱分析仪 | 【D4】系统级模拟/数字电路测试 |
| 【17-39】MEMS 器件激光修调 | 【D4-01】数字示波器 |
| 【17-40】高真空镀膜仪 | 【D4-02】频谱分析仪 |
| 【17-41】FIB-SEM 双束电镜 | 【D4-03】信号发生器 |
| 【17-42】椭偏仪 | 【D4-04】射频信号源 |
| 【17-43】高精度光学标定器仪 | 【D4-05】逻辑分析仪 |
| 【17-44】厚度仪 | 【D4-06】数据采集卡 |
| 【17-45】环境扫描电子显微镜 | 【D4-07】台式万用表 |
| 【17-48】直流-低频信号动态分析仪 | 【D4-08】直流电源 |
| 【17-49】阻抗分析仪 | 【oth01】舜宇激光测振仪（法向) |
| 【17-50】波形分析仪 | 【oth02】一体化测试设备 |
| 【18】FT 测试 | 【oth05】解调仪 |
| 【18-1】半自动探针台 | 【oth06】熔接机 |
| 【18-2】信号与频谱分析仪 | 【oth07】小型转台 |
| 【18-3】化学开封机 | 【oth08】离心机 |
| 【18-4】晶圆墨水标记装置 | 【oth10】动态信号分析仪 |
| 【19】包装 | 【oth13】电源 |
| 【19-1】真空塑封机 | 【oth14】示波器 |
| 【19-2】标签机 | 【oth15】信号发生器 |
| 【D1】MEMS 器件电学性能测试 | 【oth16】热台、应力加载装置 |
| 【D1-02】半导体参数分析仪 | 【oth17】大型三轴转台（主体） |
| 【D1-03】数字示波器 | 【oth17】附 大型三轴转台控制柜 |
| 【D1-04】直流电源 | 【oth18】旋转位移台 |
| 【D1-05】信号发生器 | 【oth19】激光测振仪 切向 |
本项目不涉及《北京市工业污染行业生产工艺调整退出及设备淘汰目录（2022年版）》中污染较大、能耗较高、工艺落后、不符合首都城市战略定位的工业行业和生产工艺，也不涉及国家明令淘汰的落后设备，不涉及须单独申请辐射安全许可证的设备。
设备及工艺平面布置图详见附件附图。
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