哈尔滨工业大学（深圳） 研究教授

深圳市微纳制造产业促进会技术解决方案专家委员会主任

吴向方，教授、研究员、高级工程师，现任哈尔滨工业大学（深圳）材料学院教授，鹏城半导体技术（深圳）有限公司 董事/技术总监。

吴向方教授曾就职于中国科学院沈阳自动化研究所、参与建设国家机器人示范工程基地和国家机器人学重点实验室、国家七五攻关项目；参与创建沈阳北方商用机器设备股份有限公司，任研发部经理、第一任电子厂厂长等职；创建聚智科技有限公司，任总工程师、第一任机械厂厂长；南方科技大学教授、创建沈阳工业大学嵌入式系统研究中心等。

兼任广东半导体行业协会专家委员会专家、副会长，江苏半导体行业协会专家委员会专家，深圳市真空行业协会专家委员会专家，深圳微纳制造产业促进会-技术解决方案专家组专家，中国计算机学会嵌入式系统专业委员会专家组专家。荣获第十二届中国创新创业大赛高端装备制造行业初创企业组辽宁赛区第一名、辽宁省优秀软件产品奖等各类奖项、人才称号10余项。

吴向方教授2021年主导创建哈尔滨工业大学（深圳）的第一家半导体类公司——鹏城半导体技术（深圳）有限公司，任董事/技术总监。2022年，主持鹏城半导体公司和哈工大联合项目：大尺寸金刚石晶圆片的研发工作（φ6～φ8英寸），成功设计研发制造了大尺寸CVD金刚石生长设备，并成功生长了厚度0.5mm的大尺寸金刚石晶圆片，推动了金刚石材料在第三代半导体领域的应用。2023年与沈阳科技局、大东区政府、大东区科技局，策划成立沈阳微纳产业园，并主导创建沈阳市微纳产业技术创新联盟，沈阳市微纳技术与超级精密加工成果转化中试基地，沈阳市微纳技术与超级精密制造协同创新中心。2024年1月，与中俄研究院联建“微纳精密装备技术中心”，被聘为中俄研究院专家和微纳精密装备技术中心首席专家。

专长领域：
第三代半导体工艺技术和装备技术的研究；第二代半导体和第三代半导体的衬底材料和外延片的工艺研究和配套工艺装备的研发制造