中国科学技术大学 工程师

作为中国科学技术大学微纳研究与制造中心实验室最初的四位筹备创始人之一，全程参与了微纳加工实验室的整个筹建工作，全面参与了实验室的基础设施建设、实验室改造工程、设备调研、采购、安装等各项工作，主要完成了3300万元的洁净室装修改造及动力系统配套保障建设任务，百余台仪器设备的安装管理及保障工作，实验室管理制度文件的起草制定，实验室仪器的操作资料的编写；主要参与了超净实验室平台建设和日常运行维护，主要包括：超净室建设的前期设计及筹备与建设工作；微纳加工工艺制备实验平台建设；参与仪器设备的调研、技术谈判、招标采购、安装调试、使用培训；超净间仪器设备管理维护，设备维修，设备改造，工艺开发与技术服务。发表署名文章五篇，获专利八项，中国微米纳米技术学会个人会员，2020年5月任全国半导体设备和材料标准化技术委员会第一届微光刻分技术委员会委员，中国电子电路行业协会微电子研究院特聘兼职研究员。

专长领域：
在微纳加工洁净室建设和运行方面有十三年经验，在微纳加工领域的电子束光刻机（EBL）设备操作使用与应用研究方面有十一年经验，在皮秒激光刻蚀领域有七年经验，在MEMS传感器芯片设计与制备工艺方面有四年经验