202607-安徽普尔斯光电科技有限公司-大口径半导体玻璃晶圆衬底片暨半导体掩模版加工项目
2026年09月
项目拟投资32000万元,占地约45亩,规划总建筑面积约4.5万平方米,建设生产厂房、研发中心、中试基地及仓储物流中心等,拟购置双面抛光设备、环抛设备、超声波大口径清洗设备、激光干涉仪、影像干涉仪等设备。项目建成达产后,可形成年产1560片大口径半导体晶圆衬底片暨加工1.5万片半导体掩模版的生产能力。
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项目拟投资32000万元,占地约45亩,规划总建筑面积约4.5万平方米,建设生产厂房、研发中心、中试基地及仓储物流中心等,拟购置双面抛光设备、环抛设备、超声波大口径清洗设备、激光干涉仪、影像干涉仪等设备。项目建成达产后,可形成年产1560片大口径半导体晶圆衬底片暨加工1.5万片半导体掩模版的生产能力。