202606-合肥芯科半导体科技有限公司-半导体设备生产制造项目

工程建设内容：

项目位于合肥新桥科创示范区兴东路与昌北路交口东南角，拟投资新建三栋生产厂房、一栋综合楼及其他相关配套设施，占地约 26 亩，规划总建筑面积约 26500平方米。购置真空测压设备、真空泵、去胶率检测设备等，从事半导体设备的生产制造。项目建成达产后可年产约 360 台 PRStrip 和 GENEVA 系列刻蚀机，用于晶圆处理，剥离光刻胶。

项目总投资 30300 万元，环保投资 50 万元，本项目已于 2023 年 11 月 29日由合肥经济技术开发区经济发展局予以备案，项目编号：2311-340162-04-01-831586。项目于 2024 年 6 月 27 日以环建审〔2024〕11037 号文予以审批。项目已于 2025 年 10 月 31 日在排污许可证管理信息平台上进行了排污许可登记申请，并已取得备案回执，登记编号：91340111MAD1JANE3R。项目于 2024 年 12 月开始建设，于 2026 年 2 月竣工，合肥芯科半导体科技有限公司于 2026 年 6 月对本项目开展竣工环保验收工作。