202606-苏州星钥光子科技有限公司- 8 英寸硅光集成芯片生产线建设项目

1、项目由来

集成电路（芯片）产业是信息产业的核心与基础，也是现代社会的主要推动力之一，其发展关系到一个国家科技与工业水平，是一个国家竞争力的

整体展现。集成电路制造集多种高新技术于一体，是当前信息化产业的基础，属资本密集、技术密集、产业发展快和投资风险高的产业，对于电子产业与经济发展具有强大的推动作用，被视为 21 世纪信息化社会的重要基础。因此，世界各国将此产业视为国家级关键产业。

2023 年 9 月 1 日，苏州市政府出台《关于加快培育未来产业的工作意见》，贯彻落实创新驱动发展战略，高质量推进产业创新集群融合发展，加强科技创新和产业创新对接，前瞻谋划、培育发展苏州的未来产业，以此提升城市竞争新优势、构建现代化产业体系、打造具有全球影响力的产业科技创新中心主承载区，苏州市结合电子信息、装备制造、生物医药、先进材料四大主导产业的规模优势，依托光子、集成电路、人工智能、新能源、创新药物、纳米新材料等战略性新兴产业的发展优势，重点发展前沿新材料、光子芯片与光器件、元宇宙、氢能、数字金融、细胞和基因诊疗、空天开发、量子技术等未来产业。

国家工信部发布的《中国光电子器件产业技术发展路线图（2018—2022年）》指出，目前高速率光芯片国产化率仅3%左右，要求2022年中低端光电子芯片的国产化率超过60%，高端光电子芯片国产化率突破20%。苏州高新区太湖光子中心于2022年8月发布，苏州高新区光电产业集群步入新高度。GaN基材料是直接带隙半导体，具有带隙大、饱和电子漂移速率大、击穿场强高等优点，GaN激光器将半导体激光器波长拓展到可见光紫外波段，是产业和国防安全急需的核心器件，但目前中国激光显示和激光加工产业使用GaN激光芯片约为数千万颗/年，几乎全被国外垄断，对我国产业链安全构成了严重威胁，且中国量子信息等前沿技术研究使用的GaN激光芯片在2024年被断供，现在亟需自主可控。

苏州星钥光子科技有限公司（以下称“星钥光子”）是一家以8英寸硅光集成电路制造能力为基础，专注于提供制造代工服务（Foundry）的创新型企业。公司专注于提供高端硅光芯片与器件制造代工服务，满足硅光芯片代工的进口替代需求。

现阶段以数据通信光模块中硅光芯片代工为主要产品代工服务方向，集中在硅上SiN、SiO2为主的光波导及各类功能器件开发和代工，未来持续向人工智能光计算、自动驾驶激光雷达、生物医疗光电子等新兴方向持续演进。

星钥光子依托长光华芯工厂核心运营团队，可以在技术领头人的指导下，迅速建立拥有自主知识产权的，国际先进的，国产可控的硅光子工艺平台。下图是硅光工艺平台的主要参数比较，可以看出，星钥光子在绝大部分指标方面都能达到世界先进水平，可以很好满足单波200G的800G、1.6T硅光模块客户的需求。

星钥光子8英寸90nm硅光量产线选用的高水平国产新设备具备超过海外二手设备的技术能力，也有利于与Ⅲ-V、铌酸锂等材料的异质集成，更有利于光电器件与MEMS器件集成，综合平衡了投入、工艺成熟性与先进性以及异质异构兼容性等各项需求，在研发和制造成本、工艺能力上能很好满足客户的要求，具有很强的竞争优势。

苏州星钥光子科技有限公司计划总投资 12 亿元，租赁苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司位于江苏省苏州市高新区科技城漓江路 56 号空置厂房，建设“苏州星钥光子科技有限公司 8 英寸硅光集成芯片生产线建设项目”。本项目硅光集成芯片定位为高端战略新兴产品，用于特定的光电器件及功率器件，这些器件在通讯和科研等领域有着广泛的应用，因此本项目芯片尺寸定位在 8寸，更适合定制化需求，能够提供更灵活的设计和更高的定制化程度。

项目建成后可年产8英寸硅光集成芯片6万片。

2、项目概况

项目名称：苏州星钥光子科技有限公司 8 英寸硅光集成芯片生产线建设项目；

建设单位：苏州星钥光子科技有限公司；

建设地点：苏州高新区科技城漓江东路东、普陀山路北；

建设性质：新建；

建设规模及内容：租赁厂房 7000 平方米，购置光刻、刻蚀、离子注入、

测试等高端设备，并进行适应性改造。项目建成后预计年产 6 万片 8 英寸单波硅光芯片。

总投资额：120000 万元，其中环保投资约 800 万元，约占总投资的 0.67%；

占地面积：租赁面积 7000 平方米。