高保真表面浮雕结构的复制（Replication of High Fidelity Surface Relief Structures）

目前有几种可用于复制高质量带图案光学表面的方法。本文研究了将紫外固化光聚合物（UVPP）作为复制工艺组成部分制造的复制成像质量衍射光栅、干涉编码器和性能增强型表面浮雕结构的光学性能。通过开发 UVPP 复制工艺，在保持产品质量的同时缩短了所需光学元件的制造时间，且在许多情况下提高了产品质量。本文还讨论了针对若干光学制造问题的具有吸引力的低成本复制解决方案。