创锐光谱获近亿元Pre-A轮融资，引领泛半导体缺陷检测技术革命

近日，泛半导体缺陷检测创新型企业创锐光谱宣布完成近亿元Pre-A轮融资，由光速光合领投，老股东君联资本跟投，指数资本担任财务顾问。融资资金将主要用于技术研发和产能扩容。

创锐光谱成立于2016年，是全球的瞬态光谱技术产业化企业，立足瞬态光谱技术，建立了从基础科学研究到泛半导体检测领域的全系列产品。历经多年的技术积累与深度耕耘，创锐光谱在光谱学系统、激光器、OPO、探测器、自动化等关键技术和核心组件及软件与运动控制算法等方面均实现自研。

光速光合执行董事郭斌表示，创锐光谱集结了中科院、浙江大学、埃默里大学等多家世界学府及科研院所的专家团队，深耕工业界极为稀缺的瞬态光谱检测技术。公司以科研市场为依托，开创性地开发出具有生产指导价值的新型高端检测设备，同时突破现有光学检测手段的能力边界，有效延伸到碳化硅功率器件、钙钛矿光伏组件、MicroLED显示面板等高端制造领域，显著促进了几大新兴领域的商业化进程。

尤其在碳化硅领域，已成功向国内外龙头企业交付了全球范围内首台套该类型的高端检测设备，树立了行业标杆。此外，经过多年技术积淀，公司成功实现在激光器、探测器等关键零部件完全自主化生产，打破了国外巨头的供应链垄断，构建了极深的行业护城河。

创锐的科研产品线包括超快瞬态吸收光谱系统、超快瞬态吸收显微成像、纳秒瞬态吸收光谱系统、闪光光解系统等，其产品成功打破欧美等巨头垄断，目前已进入国内外近百所高校和研究机构，超快光谱系统实现国内市占率；在化合物半导体检测产品领域，创锐光谱构建了从衬底到外延的一站式检测方案；在泛半导体其他领域，已实现钙钛矿光伏面板、第二代半导体晶圆和芯片和microLED等多个不同场景检测技术和设备的落地，不断拓宽市场和技术的边界。

创锐光谱CEO陈俞忠博士表示，近一年来创锐光谱在SiC晶圆缺陷检测方面取得了巨大的技术突破，成功开发了衬底/外延位错缺陷无损检测、点缺陷检测、高速载流子寿命检测等多种专用设备，在全球范围内首次解决了SiC衬底位错缺陷无损检测的世界性难题，该突破性技术也不断得到行业认可，相关DiSpec系列检测设备已实现全球首套落地，并同步发运国际和国内头部客户。

本轮融资后，创锐光谱将持续加大研发投入力度，加速推进SiC晶圆缺陷检测、钙钛矿光伏面板检测等多种工业检测产品的市场导入， 实现批量出货目标。

什么是瞬态吸收光谱？如何理解瞬态吸收光谱？

瞬态吸收（TA）光谱，也称为闪光光解，是一种泵浦-探针光谱技术，用于测量光引发激发态吸收能以及分子，材料和器件的相关寿命。泵浦-探测技术可以描述为通过样品被光源（泵浦脉冲）光激发，从而测量第二光源（探测脉冲）的吸收随波长和时间的变化。该技术着重于测量激发态的单重态和三重态，电子和能量转移机制以及光产物反应等。它对光化学科学具有广泛的意义，从了解植物中光合系统II（PS-II）的光捕获机制到人类视网膜的信号传递，再到优化太阳能电池和光驱动的光催化。该技术由George Porter和Ronald GW Norrish于1950年首次发表，他们发现二战中用于航空摄影的高强度闪光灯管可用于引发光活化反应。这些研究为他们赢得了1967年诺贝尔化学奖，尤其是“由于他们通过非常短的能量脉冲干扰平衡而对极快的化学反应进行的研究”。在此之前，使用停流技术将反应动力学限制在数百毫秒的时间范围内，但是瞬态吸收可以在微秒范围内进行测量。他们的开拓性工作开辟了一个新领域，因为它可以研究快速的光化学反应。自从发现瞬态吸收以来，其时间分辨率一直在不断提高，由于诺贝尔奖获得者Ahmed Zewail的推动，瞬态吸收在1990年代达到了飞秒级。

纳秒级TA（ns TA）通常以其原名闪光光解法来称呼，尽管它并不总是涉及光解离。目前有两种时间尺度对应了不用的仪器需求和挑战，纳秒级TA（ns TA）和超快速飞秒级TA（fs TA）。两者也被称为泵浦探针光谱法，并且两者中报道的数据均显示了光引发瞬态动力学和光谱随时间变化。Fs TA通常用于探测单线激发态和快速过程，例如光异构化，溶剂驰豫和电荷注入。相比之下，ns TA用于研究从生物分子反应到太阳能电池效率的所有方面的三重态，能量转移，电子转移自由基，电子回转和三重态-三重态湮灭。爱丁堡仪器公司专门从事ns TA测量，其可测量寿命约为5 ns至几秒钟。激发态是由光的激发脉冲（泵浦脉冲）产生的，瞬态物质的光谱和寿命通过测量在所需波长下光的基线（探针脉冲）的变化获得。该方法通常使用高能Nd:YAG激光器作为泵浦光源，并使用白光卤素灯泡和单色仪或单个波长LED作为探测光源。通常使用示波器记录的光电倍增管（PMT）响应来监测寿命，并且可以从各个波长下的PMT响应中生成瞬态吸收光谱，或者通过使用增强型CCD（ICCD）相机更快地获取时间门控瞬态光谱。图2给出了测量示例。

在样品之后，探测光束通过单色仪，从而可以在特定波长下测量样品的基态和激发吸光度变化。

在没有光激发的情况下，大多数物种都处于基态（G）。在t <0时，在泵浦激光器激发样品并使探测光束入射到样品之前，检测器观察到基态（G）吸收的强度，从而产生了光谱OD0。泵浦脉冲在t=0到达样品并在激发态A下产生高的非平衡物种。在t>0时，探头从A→B以及G→A处检测到吸收。由于激发态吸收而产生的新成分出现在ODt的光谱中，并且基态吸收减少。G→A的降低是由于泵浦脉冲耗尽了基态而导致的。这被称为基态漂白。瞬态吸收光谱ΔODt测量了ODt和OD0之间的差异，代表了由泵浦激光脉冲影响的吸收变化。随着样品恢复到G状态，其ΔOD谱随时间变化，最终达到零。爱丁堡仪器LP980瞬态吸收光谱仪是世界上唯一的集成式nsTA系统，可同时使用安装在双单色仪/光谱仪平台上的PMT和ICCD检测器，在纳秒至数秒的时间内对光谱和动态瞬态吸收进行直接测量。此外，它是唯一结合了脉冲高能氙气闪光灯的仪器，可在更快的纳秒时间内进行低ΔOD测量。