半自动高压高功率系列（工程验证 / 中试 / 可靠性 WLR）/TS2000-DP DarkBox 开放型高功率系统
晶圆：200mm（8 寸），开放式平台，成本最优温度：标准 25℃~300℃高温，无标配低温，可后期加装制冷高压电流：10kV/600A 脉冲；ArcShield 防电弧衬垫、防电弧探针卡支架定位：12 路三轴 HV 定位器 / 4 路 400A 多指大电流定位器优势：模块化可升级，未来可扩容至 15kV 高压，投入保值；适合预算有限、仅高温测试的产线中试
应用：功率器件高温老化、静态参数分选、工艺 WAT 监控
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