TS150-HP 手动高压高功率探针台（实验室 / 高校 / 小批量研发） | 设备器件

定位：灵活低成本、单颗 / 小片晶圆表征、器件建模、失效分析，无自动步进，人工操控。
1. TS150-HP（6 英寸 / 150mm 手动高功率）
> 晶圆尺寸：最大 150mm（6 寸），兼容裸片、小片、Taiko 薄晶圆（50μm）
> 电气规格：10kV 同轴 / 3kV 三轴，脉冲 600A；镀金载台极低接触电阻
> 温控：标准室温～300℃；可选 - 60℃低温制冷模块
> 核心技术：ArcShield™抗电弧屏蔽 DarkBox、气浮 XY 载台、单手摇杆操控；最多 10
高压微定位器 / 4 路大电流多指探针
> 适用场景：高校实验室、第三代半导体材料研发、器件静态 I-V、击穿电压 BV、导通电阻 Rds_on 测试