小型等离子清洗机（电感式）

利用磁场的能量来激发和维持等离子体。将一组线圈（通常是平面线圈或螺旋线圈）绕在或置于反应腔室周围（或顶部），并施加高频交流电。交变电流在线圈中产生一个强大的交变磁场，这个变化的磁场根据法拉第电磁感应定律，在反应腔内感应出强大的涡旋电场。感应出的涡旋电场使电子加速，最终激发气体产生等离子体。

高密度的活性自由基使其在化学清洗方面效率极高。可清洗三维立体工件和异形工件。非常适合处理对离子轰击敏感的材料和器件，如半导体芯片、微电子机械系统（MEMS）、高级封装等。

• 小型化，方便实验室操作和使用，大幅降低实验成本。
• 处理温和均匀，适合精细、敏感器件。
• 无电极污染，洁净度高。