高真空超洁净气氛炉集真空抽气系统、真空炉膛、温度控制系统、气路系统、压力保护系统为一体。炉衬使用多层钨钼金属反射屏制作而成。
采用钨片为加热元件；是专为高等院校、科研院所的实验室及工矿企业对陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料、建材、金属、非金属及其它化合物材料进行烧结、融化、分析、生产而研制的专用设备。
高真空超洁净气氛炉
产品介绍
主要特点
- 本产品采用可靠的集成化电路，工作环境好，抗干扰。
- 最高温度时炉体外壳温度≤40°C，大大提高了工作环境。
- 微电脑程序控制，全自动升温/降温，运行中可以修改控温参数及程序，灵活方便、操作简单。
- 具有正负压显示，炉膛超压保护、超温保护，水流水压水温保护，断偶保护。
技术参数
| 产品型号 | HITSemi-VAF-1500 |
| 温度控制系统 |
长期工作温度：1400°C（可选配，1600°C） |
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控制范围：50°C~1800°C |
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控温精度：±1°C（集成化电路控制，无超调现象） |
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炉内温场均匀度：±2°C（根据加热室大小而定） |
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升温速率：可自由调节，范围：最快升温速率每分钟20°C（非线性）、最慢升温速率每小时1°C（非线性） |
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| 炉膛 |
炉膛尺寸（有效热场）：300mm × 200mm × 200 mm |
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发热元件：高纯金属钨片（禁止在800°C以上通入N2） |
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发热元件安装位置：鼠笼式结构 |
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隔热保温：炉膛内采用10层反射屏（3层钨、2层钼、2层310S、3层304） |
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| 炉体结构 |
炉体结构：304不锈钢水冷双层炉体结构，保证良好工作环境 |
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炉体外壳温度：长期使用不停炉，外壳温度小于45°C（有水温检测） |
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| 水冷系统 | 接口：进、排水口设有接口，可直接连接用户循环水系统 |
| 保护：排水管带过压保护;停水时声光报警和互锁装置启动，同时开启紧急冷却水 | |
| 冷水机（可选配） | |
| 真空系统 |
极限真空度：6×10-4 Pa（空炉冷态洁净） |
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工作真空度：6×10-3 Pa（空炉洁净） |
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| 真空机组 |
分子泵+机械泵（可选配，干泵） |
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气路系统 |
可通气体：Ar、H2 |
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充气系统：加热过程中可调节真空度 |
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| 控制形式 |
半自动/全自动 |
| 控制系统 |
PLC+触摸屏 |
设备工作条件
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供电 |
三相五线制，AC 380V，50Hz；90KVA（设备供电由两路组成，一路系统供电，一路加热供电） |
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功率 |
60KW |
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冷却水 |
≤100L/min |
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水压 |
0.1Mpa~0.15MPa |
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水温 |
18℃～25℃ |
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气动部件供气压力 |
0.5MPa～0.7MPa |
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质量流量控制器供气压力 |
0.05MPa～0.2MPa |
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工作环境温度 |
10℃～40℃ |
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工作环境湿度 |
≤50% |
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