深圳市易捷测试技术有限公司-太赫兹频段晶圆级测试解决方案 | 设备器件

专为太赫兹频段应用的晶圆级测试解决方案，TS200-THz+110GHz Delta Tuner的200毫米晶圆测试系统。

易捷测试技术集成MPI探针台实现的THz频段三端口晶圆混合器测量混频器是频率转换过程中的关键部件，通常用于通信和雷达系统。根据混频器的拓扑结构，当频率超过VNA最高频率时，需要在混频器的多个端口上安装毫米波转换器。

此外，为了获取测量结果，还需要从不同位置对被测设备（DUT）进行探测。三端口晶圆测量装置你的任务在毫米波频段，对晶圆上的高频混频器及其他频率转换元件进行精确表征以实现器件建模与验证，正变得日益具有挑战性。 R&S®ZNA矢量网络分析仪（VNA）是进行混频器测量（如转换损耗和匹配）的推荐工具。

Rohde&Schwarz溶液在晶圆上直接实现高精度三端口混频器测量，特别是在THz频段，需要一个结合性能、灵活性和无缝集成的解决方案。四端口R&SZNA矢量网络分析仪非常适合这项任务。当与外部频率转换器结合使用时，该装置可实现射频、本振和中频路径的测量，非常适合在极高频范围内以最大精度表征混频器。该方案的突出优势在于其与MPI公司晶圆探针台的高效机械集成。

R&S®毫米波转换器可轻松安装在MPI探头站的四个基本方向。罗德与施瓦茨提供完整的毫米波转换器系列，最高支持1.1THz的混频器测试。转换器的机械设计留有充足空间，使显微镜能紧贴晶圆进行检测。

R&S®ZNA的先进架构包含最多四个内部相位相干源和八个高动态范围接收器，为高性能测量提供了坚实基础。该架构还支持使用两个不同的转换器频段，当被测设备（DUT）的射频和本振频率处于不同波导频段时，这种配置是必需的。