高精度硅谐振压力传感器
产品介绍
XDP8100系列产品是新一代高集成谐振式MEMS绝对压力传感器，集成了一颗敏感压力的MEMS谐振器，和一颗用于MEMS驱动与检测的ASIC芯片，是全球首款采用单片集成ASIC控制芯片的硅谐振压力传感器。国际同类产品仍采用分立元器件搭建的PCB板级处理电路，相比而言，XDP8100具有精度高、体积小、数字输出、系统集成简单、无需二次校准等独特优点。
技术特点
- 测量介质：干燥非腐蚀性气体
- 压力量程：0 ~ 350 kPa 绝压（可选）
- 最大过压：2 x FS
- 工作温度：-45°C ~ +85°C
- 综合精度*：±0.02%FS (标准级), ±0.01%FS (提高级)
- 长期稳定性：±0.01%FS /年
- 加速度影响：< 2Pa/g
- 压力接口：M12
- 电气接口：SPI 接口
- 供电电压：5V
- 外形尺寸：φ25mmx27.5mm (不包含压力/电气接口）
* 包含非线性、迟滞、温度等影响
（单位：mm）
应用领域
- 气象监测
- 压力仪表
- 大气数据计算机
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