MEMS硅光芯片

随着数据中心、云计算、5G/6G网络等领域的蓬勃发展，光通信系统的速度、能耗和灵活性面临着前所未有的挑战。利用MEMS技术制作的微型光器件以其独特的性能优势和高度集成特性，正在成为推动光网络技术进步的关键力量。

MEMS硅光芯片采用硅为主要材料，具有插入损耗小，光路间相互串扰极低，对光的波长和偏振不敏感等特点，并且重量轻、体积小、集成化、成本低，拥有广阔的应用市场，包括光通信领域的光开关（OCS）、调制器、探测器、波分复用器、解复用器、偏振器、耦合器；光栅、光显示、数据存储、自适应光学；光学传感中的加速度计、压力传感器等多个方面。

应用领域