MEMS加速度计
产品介绍
MEMS加速度计是测量物体加速度信息的元器件，由相应的MEMS芯片、ASIC芯片及悬挂在弹簧上的惯性质量封装组成，已经广泛用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等领域。
在外部施加的加速度的作用下，MEMS加速度计利用惯性质量发生位移时的相对位置，将加速度的变化转换为电容的变化量，最终通过专用集成电路获得电容值的变化，得到物体运动的加速度值。根据传感机制的不同，MEMS加速度计可分为压阻式、电容式、压电式、隧道电流式。
应用领域
MEMS加速度计是测量物体加速度信息的元器件，由相应的MEMS芯片、ASIC芯片及悬挂在弹簧上的惯性质量封装组成，已经广泛用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等领域。
在外部施加的加速度的作用下，MEMS加速度计利用惯性质量发生位移时的相对位置，将加速度的变化转换为电容的变化量，最终通过专用集成电路获得电容值的变化，得到物体运动的加速度值。根据传感机制的不同，MEMS加速度计可分为压阻式、电容式、压电式、隧道电流式。
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