MEMS微振镜

MEMS微振镜（也称“微镜”、“扫描镜”）属于光学MEMS器件，可通过电信号驱动微机械结构，对光束进行精准偏转、调制、开启闭合及相位控制，具备极高的响应速度。MEMS微振镜的驱动方式包括静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动。

MEMS微振镜是激光光束操纵的核心元器件，通过半导体制造工艺进行集成化生产，能够减少激光雷达、激光显示、通讯设备的体积和成本，并提高其精度。近年来，随着智能化、电动化、网联化的加速发展，汽车传感器市场持续扩大，基于半导体制造工艺生产的先进传感器正在扩大应用。

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