Kosaka 台阶仪/粗糙度轮廓仪

产品概要：

KOSAKA ET200A是KOSAKA新推出的经济型台式两用机型：6寸台阶仪（支持升级到8寸载物台）和粗糙度轮廓仪。可根据用户需求任意组合，是一款带有专用控制器的高精度、高性能的表面粗糙度测量仪器。

基本信息：

极佳重复性与线性度

采用直动式检测方式，可避免圆弧补正误差，可避免Bearing间隙误差；台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm；Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

直动式检出器构造

直动式检出器测量边沿效应

重复测量数据 (10 times)

Taylor Hobson 标准样

直动式检出器测量边沿效应

VLSI SHS-9400QC

VLSI SHS-440QC

实时监控测量位置

超高直线度国际认证数据

位移光栅尺与时间取样

形状及粗度解析

粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；可测量台阶及倾斜度。

超大测定力范围

测定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意设定可测定软质材料面，如:COLOR FILTER、SPACER、PI等。

触针保护盖板及方便更换

技术优势：

1、设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震

2、独特的直动式传感器设计

3、Z方向重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

4、Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

5、样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

6、高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向测量长度大至100mm，Y方向可移动150mm

7、自带三维测量功能

应用方向：

主要用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶／粗度测定，对多种零件表面的粗糙度，波纹度以及原始轮廓进行多参数评定，另外也可利用微小测定力来对应软质样品表面测定。

联系电话：

158-2191-4709 / 139-1847-4527

产品结构：

花岗岩低重心设计：

线性度：

Vertical linearity(垂直线性度) : ±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

线性度计算公式： 误差范围 / Z方向测量范围

测量设备型号 : ET-150系列

测试样品为 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 认证的标准样品

Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um

VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm

VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

高分辨率：

纵轴分辨率高至0.1nm，横轴分辨率高至0.1um，X测定速度可调：5μm~2mm/s，可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等。

超高垂直直线度：

垂直直线度：任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度

可追溯性：通过ISO9000国际认证，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆有出厂测试认证报告

超高垂直直线度精度保证：  局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力

测量效果：

设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震；测量稳定性和设备稳定、耐用性较好；直动式检测器；测量重复性&线性度较好，确保各样品台阶测量的精度、准确度；样品台超高的垂直直线度保证；进一步提高台阶测量精度，确保样品形状不变形；样品台X方向光栅尺定位，最长测量距离100mm，测量速度可快至5μm/s；样品周期性结构不失真，长距离有利于测定多种国际参数。