Flat Top/光场匀化器

Flat Top/光场匀化器

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• 光场匀化器可生成多种光束形状- 平顶、矩形、方形和线形
• 均匀性达到技术极限 (不均匀度不超过1%)
• 高 NA、高填充因子和极化保持
• 光学效率高达 90%，有助于降低高昂的激光能量成本
• 采用优质材料熔融石英制成，适用于多种不同激光源（例如准分子激光器、固态激光器和半导体激光器）
• 在不同的晶圆尺寸（最大8英寸）上生产高精度的自由曲面透镜，如球形、六边形、方形

应用领域

泛半导体制程

表面检测

照明