镍垫片

镍垫片

镍垫片用于复制微纳米结构。

垫片用作具有各种微纳米结构的印章或模具。

作为系列生产商，temicon 使用镍垫片复制微纳米结构，用于以下技术：

• 卷纳米压印
• 卷压花（卷对卷和卷对板）
• 热压花

垫片是在光刻电铸工艺链中制造的。根据结构类型，构建是通过光刻工艺 UV 光刻、激光干涉光刻或使用替代结构化工艺完成的。

通过电铸实现不同的结构类型

镍镍家族工艺

通常，从称为镍父的镍形式开始，可以进一步复制镍。

这称为镍-镍家族工艺。第一个镍币副本称为母币。它显示了反向微观结构。随后的副本称为 son。这个与原来的父亲具有相同的结构取向。

晶圆格式高达200 毫米，最大 500 毫米 x 600 毫米的大尺寸，厚度从0.02 毫米最大 1 毫米，材料镍根据要求进行涂层。

将基板插入旋涂机以进行 UV 光刻

测量激光干涉光刻用大尺寸支架上的光束均匀性