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3D轮廓测量设备 ES-450

产品介绍

设备技术参数：

技术规格	ES-450
外观尺寸	1700mm1400mm1900 mm
X.Y测量行程	450mm*450mm
Z轴可调行程	50mm
有效测量范围	450mm*450mm
扫描最少步距	1μm
最大扫描速度	10mm/S
检测重复程度	≤0.2μm
电源	AC220V±10%
重量	1500kg

噪音	70db
工作环境	AC220V±10%

功能描述：

◆ 3D形貌

◆ 台阶高

◆ 粗糙度

◆ MEMS形貌

◆ TSV

◆ 光刻胶厚度

◆ 刻蚀图形

◆ Bump

◆ 金球

◆ 铜柱

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