LED图形化蓝宝石衬底纳米压印光刻生产线 LED (n)PSS Cluster

LED (n)PSS Cluster是一种专门为图形化蓝宝石衬底（PSS/nPSS）量产开发的纳米压印光刻生产线，可实现2、4、6英寸(n)PSS结构纳米压印工艺全自动生产。

该设备采用模块化设计，集成工作模具复制单元和纳米压印光刻生产单元。工作模具复制单元支持从晶圆级母模具表面自动复制柔性工作模具，工作模具具有精度高，寿命长等特点，可以显著降低大面积纳米压印量产中模具使用成本。纳米压印光刻生产单元支持工作模具自动更换，全自动上下片、压印、曝光、脱模，整个生产过程在密闭洁净环境中进行，以保证压印结果质量。

LED (n)PSS Cluster纳米压印光刻生产线专门为图形化蓝宝石衬底大规模量产细节优化，具有设计紧凑，占地面积小，全自动生产流程，稳定一致性好，多工位平行生产，产能高等特点。

主要功能

• 全自动量产型LED图形化蓝宝石衬底（PSS/nPSS）纳米压印光刻生产线
• 专门为(n)PSS大规模量产优化纳米压印工艺
• 全自动复制柔性工作模具，自动更换，自动传送，降低大面积纳米压印模具使用成本
• 模具复制内置精密自动点胶与旋涂功能
• 工作模具可根据设定使用频率自动更换
• 洁净机械手全自动上下片，双手指一取一放，提高效率
• 8个cassette采用分区设计，安全互锁，可在生产状态下更换cassette，提高产能
• 标配高功率紫外LED面光源（365nm，光强>1000mW/cm2 ，可选1000mW/cm2 光源），寿命优于3万*小时，水冷冷却，曝光时间控制精度优于0.1秒
• 晶圆自动预对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模，整个生产过程在密闭洁净环境中进行
• 占地面积小，产能高，4英寸可达240片每小时，6英寸可达200片每小时*
• 随机提供全套纳米压印工艺与通线驻场服务，帮助客户零门槛达到国际领先的纳米压印水平

相关参数