南京邮电大学——微结构与掩模版加工技术服务
微结构与掩模版加工技术服务
招标公告
制造生产
学校采购
招采单位：
采购产品：
项目编号：
| 项目名称 | 微结构与掩模版加工技术服务 |
|---|---|
| 采购单号 | CF102932026000184 |
| 采购单位 | 南京邮电大学 |
| 币种 | 人民币 |
| 竞价开始时间 | 2026-11-12 16:05:51 |
| 竞价结束时间 | 2026-11-17 16:05:47 |
| 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 发票类型 | 增值税普通发票 |
| 安装要求 | 免费上门安装（含材料费） |
| 备注 | 微结构与掩模版加工技术服务含掩模版图布局布线设计及 20 块铬掩模版加工，开展 4 英寸基板微米级图形加工、金属与介质薄膜制备、干法及湿法刻蚀工艺实施；光刻工艺控制要求曝光精度 2μm，多层图形套刻偏差≤2μm，关键图形尺寸偏差 ±1.5μm；镀膜可制备 Au、Pd、Al、Ti、SiO？及高 k 介质薄膜，膜厚相对目标值偏差控制在 ±10% 以内，有效区域内膜厚不均匀性≤10%；干法刻蚀图形尺寸偏差 ±2μm、刻蚀深度相对目标偏差≤±10%，湿法刻蚀重点管控侧向腐蚀与去除完整性，同步配套工艺调试、过程质检、相关版图文件及检测资料交付。 |
采购明细 1
| 采购项名称 | 微结构与掩模版加工技术服务 |
|---|---|
| 型号 | 掩模版图布局布线设计及 20 块铬掩模版加工，开展 4 英寸基板微米级图形加工、金属与介质薄膜制备、干法及湿法刻蚀工艺实施；过程质检、相关版图文件及检测资料交付。 |
| 规格参数 | 微结构与掩模版加工技术服务含掩模版图布局布线设计及 20 块铬掩模版加工，开展 4 英寸基板微米级图形加工、金属与介质薄膜制备、干法及湿法刻蚀工艺实施；光刻工艺控制要求曝光精度 2μm，多层图形套刻偏差≤2μm，关键图形尺寸偏差 ±1.5μm；镀膜可制备 Au、Pd、Al、Ti、SiO？及高 k 介质薄膜，膜厚相对目标值偏差控制在 ±10% 以内，有效区域内膜厚不均匀性≤10%；干法刻蚀图形尺寸偏差 ±2μm、刻蚀深度相对目标偏差≤±10%，湿法刻蚀重点管控侧向腐蚀与去除完整性，同步配套工艺调试、过程质检、相关版图文件及检测资料交付。 |
| 数量 | 1.0 |
| 单位 | 项 |
| 售后服务 | 现场验收，一年质保 |
- 收藏
粤公网安备44030002015498号