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PI推出H-855重载六轴并联平台:500公斤负载下实现亚微米定位

2026-10-08
PI推出H-855重载六轴并联平台:500公斤负载下实现亚微米定位

PI(Physik Instrument)推出H-855重载六自由度Hexapod并联定位平台,可对重量最高500公斤(1100磅)的工件或设备进行精密定位与对准。该系列兼顾高负载、亚微米级运动性能、较大行程和紧凑结构,面向工业自动化、光学系统、半导体制造、航空航天和模拟测试等领域。

最小增量运动达到0.15微米

H-855采用模块化设计,包含四种配置,分别针对负载与精度、运动速度、安装空间及长行程需求进行优化。其中,H-855.H2A主要用于重型部件精密定位:在底板水平安装时,平台最大负载为500公斤,X轴和Y轴的典型最小增量运动为0.3微米,Z轴可达0.15微米;X、Y轴典型单向重复性为0.4微米,Z轴为0.15微米。

其他版本可满足更高生产节拍要求,最大运动速度达到10毫米/秒,部分型号配备集成式保持制动器。H-855.H2AC采用折叠式执行器支腿和更小的平台,以压缩设备安装空间;H-855.H2AL则面向需要更大运动范围的应用。根据不同配置,平台X轴和Y轴行程最大可达320毫米,Z轴行程最大为150毫米,绕Z轴的旋转范围可达120°。

并联结构减少多轴误差累积

与多个直线轴和旋转轴逐层堆叠的串联定位系统不同,Hexapod利用六个协调运行的执行器连接固定底座和运动平台,同时控制X、Y、Z三个直线自由度以及θX、θY、θZ三个旋转自由度。这种并联结构能够让载荷分散到整个机构,在保持较小设备体积的同时获得较高刚度和负载能力;由于各运动轴并非逐层堆叠,还可以减少不同轴定位误差逐级累积的问题。

在半导体、精密光学和微纳制造设备中,这类六轴平台可用于大型工件、光学组件或检测装置的精密调整,尤其适合同时存在平移、倾斜和旋转校准需求的场景。

绝对编码器取消启动回零

H-855采用无刷直流减速电机和绝对式旋转编码器。设备通电后即可获得绝对位置信息,无需在每次启动时进行参考点搜索或回零操作,有助于缩短自动化设备启动时间并简化系统集成。该系列由PI的C-887专用Hexapod运动控制器驱动,控制器通过逆运动学计算,将笛卡尔坐标中的位置指令转换为六个执行器的协同运动。系统支持用户自定义工件坐标系和工具坐标系,旋转中心也可以在空间中自由设定;根据控制器版本不同,可提供TCP/IP、RS-232、模拟量I/O及EtherCAT等接口。

模块化配置适配不同精密制造需求

H-855允许在同一平台架构下调整执行器配置、减速比、运动行程和机械几何结构,使设备开发人员能够在速度、安装空间、保持力、行程和负载之间进行选择。PI还可根据具体应用开发定制化重载Hexapod。该系列将PI的六轴并联定位技术扩展至更大负载范围,使需要搬运重型部件的制造和检测设备也能获得六自由度协同运动与亚微米级精密定位能力。


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