NLM Photonics 与 Spark Photonics 开展合作，共同研发硅基有机混合光子技术

NLM Photonics 与 Spark Photonics 已达成设计合作伙伴关系，旨在加速硅基有机混合（SOH）光子技术在多个硅光子代工平台上的开发与集成。

该合作重点在于将 NLM Photonics 的高性能 SOH 解决方案引入行业标准的制造工艺中。目前已开展的项目包括基于 Tower Semiconductor 的 PH18M 硅光子平台以及 AIM Photonics 的 300mm 硅光子工艺，进一步的研发活动也正在进行中。

作为合作伙伴关系的一部分，NLM 最近在 Tower Semiconductor PH18M 平台的一次多项目晶圆（MPW）流片中完成了 SOH 调制器的加工。Spark Photonics 负责提供光子集成电路（PIC）设计和芯片布局，而 NLM 则执行了集成其专利 Selerion-HTX 有机电光材料所需的制造步骤。这包括开发并执行氧化层开口蚀刻，以便沉积有机层。

据两家公司称，实验结果证明了 Tower 的 PH18 工艺与 NLM 的 SOH 技术之间具有良好的兼容性，并为计划于今年晚些时候发布的工艺设计套件（PDK）奠定了基础。

市场研究公司 LightCounting 的创始人兼首席执行官 Vladimir Kozlov 表示，先进的调制器技术将在硅光子增长的下一阶段发挥关键作用。他指出：“硅光子代工厂正在积极扩大产能，像 Tower Semiconductor 这样的厂商计划到 2026 年年中将硅光子产量翻三倍。集成包括 NLM Photonics 的硅基有机混合方案在内的先进调制器技术，为持续创新提供了路线图。”

此外，作为美国空军 AFWERX STTR 第二阶段计划的一部分，Spark Photonics 还支持了 NLM 在 AIM Photonics 300mm 硅光子平台上的工作。在该项目中，Spark Photonics 为包含 NLM 调制器设计的全定制晶圆流片开发了布局方案。基于早期的 MPW 成果，此次流片旨在验证未来 AIM 工艺 PDK 的设计，从而为美国政府及商业用户在高速数据通信、射频光子学和传感等领域提供更广泛的支持。

NLM Photonics 首席执行官 Brad Booth 表示：“Spark Photonics 拥有深厚的光子集成电路设计专业知识，并对 SOH 技术的工艺要求有深刻理解。他们的贡献对于我们在 Tower 和 AIM 平台上取得的进展至关重要。”

Spark Photonics 首席执行官 Kevin McComber 则表示，双方的合作重点是帮助客户实现从原型到量产的跨越。他说道：“通过将 NLM 的高性能调制技术与我们的设计专长相结合，我们正在协助建立从早期开发到标准代工厂工艺制造的转型路径。”