Onto Innovation 7.1 亿美元入股 Rigaku 27% 股权 携手布局下一代半导体 X 射线工艺控制技术

2026 年 4 月 20 日，马萨诸塞州威尔明顿消息 —— 半导体工艺控制龙头企业 Onto Innovation Inc.（纽约证券交易所代码：ONTO）今日宣布，与 X 射线技术领域领军企业 Rigaku Holdings Corporation（理学株式会社）达成深度战略合作，共同研发面向下一代半导体制造的工艺控制解决方案。同时，Onto Innovation 已与凯雷集团旗下关联公司 Atom Investment, LP 签署最终股份购买协议，以约 7.1 亿美元收购 Rigaku 27% 的已发行普通股，进一步夯实长期合作关系。

Rigaku 作为全球领先的 X 射线技术制造商，产品覆盖多个行业市场，在半导体制造工艺控制领域的市场份额持续提升，拥有成熟的 X 射线核心技术与行业应用基础。

当前先进逻辑与存储芯片设计日趋复杂，先进封装架构向更高集成度发展，推动产业对新型特殊材料的依赖度持续提升。这不仅带动了光学关键尺寸（OCD）计量等工艺控制方案需求增长，也为 X 射线技术在先进制程中的应用打开了全新市场空间。据外部分析师预测，相关市场规模未来五年将突破 10 亿美元。

依托双方技术优势，Onto Innovation 与 Rigaku 正联合开发 X 射线解决方案，将 Onto Innovation 的 Ai Diffract™智能分析软件与 Rigaku 关键尺寸小角 X 射线散射（CD-SAXS）平台深度融合。目前该联合方案已获得两家重要客户采用，同时也为 Onto 现有 Ai Diffract 及 OCD 技术与 X 射线技术形成互补拓展了更多应用场景。

Onto Innovation 首席执行官 Mike Plisinski 表示：“随着光学计量技术向 1nm 工艺节点推进，公司 Atlas® OCD 技术的市场需求持续增长。通过与客户深度协作我们发现，X 射线技术能够提供更多高价值检测信息。双方合作已向客户展现出极具说服力的应用成果，可实现跨平台数据聚合与关联，结合 OCD 的速度与定位优势，以及 X 射线在深层结构探测上的高精度特性，更好满足先进制程需求。”

Rigaku 首席执行官川上淳表示：“理学在 75 年发展历程中构建了完善的 X 射线解决方案与核心组件体系，相关系统广泛应用于工业及科研领域，在半导体行业的应用价值也日益凸显。此次与 Onto Innovation 优势互补、协同合作，将为客户带来更优质的服务与价值。”

本次股权收购交易中，Onto Innovation 将收购 Rigaku 61,123,436 股股份（截至 2026 年 3 月 31 日，占剔除库存股后总发行股份的 27.0%）。交易完成后，Onto Innovation 将有权提名一名董事进入 Rigaku 董事会，Rigaku 仍将保持独立运营与管理。协议中还包含股份转让及后续增持相关限制性条款，以保障战略合作长期稳定。

Onto Innovation 计划采用公允价值期权法对该项少数股权投资进行会计处理，不纳入财务报表合并范围，并预计该投资将于 2026 财年（截至 2026 年 12 月 31 日）实现收益增长。

Mike Plisinski 补充道，此次对 Rigaku 的投资，旨在基于现有技术合作与里程碑成果，进一步深化战略协同，加速联合知识产权开发，统一市场推广策略，抢抓先进逻辑与存储领域的下一代产业机遇。

本次交易预计于 2026 年下半年完成，尚需通过常规监管审批及满足其他惯例成交条件。

关于 Onto Innovation Inc.

Onto Innovation 是半导体工艺控制领域的全球领导者，拥有覆盖全产业链的技术组合，包括无图案晶圆质量检测、纳米级晶体管至芯片级互连的 3D 计量、晶圆与封装宏观缺陷检测、金属互连成分分析、工厂数据分析及先进封装光刻技术等。

公司依托全面的产品与服务体系，助力客户解决良率提升、器件性能、质量与可靠性等核心挑战，通过智能化、高效率的解决方案优化客户产业发展路径。Onto Innovation 总部位于马萨诸塞州威尔明顿，通过全球化销售与服务网络为客户提供技术支持。