英铂极低温探针台助力南京大学集成电路学院搭建半导体器件低温电学测试系统
产品从出厂检验到装机验收，每一步都严格遵守工作流程。为客户提供更好的服务，是英铂一直以来追求的目标。
南京大学集成电路学院是南京大学在苏州校区首批建设的学院之一，以新获批的一级交叉学科“集成电路科学与工程”为依托，以南京大学传统优势学科如物理、化学、材料、电子、信息科学等学科群为基础，重点建设六个研究方向。
英铂科学仪器是一家上海市高新技术&专精特新企业，在全国拥有10多个销售&售后点，在上海拥有全套Open Lab公开实验室。致力于半导体和微纳米领域电学测试完整解决方案。领域涵盖DC直流、RF射频、HP功率电子、光电、极低温磁场、ESD/TLP、PCB测试等等。为客户的研发、失效分析、可靠性、WAT、CP、Burn in等提供完整且具性价比的方案。
01装机现场
CPS-50极低温真空闭循环探针台
02装机产品介绍
产品应用
CPS-50可以对器件进行非破坏性的测试，适用于材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量等。
产品参数
• 采用闭循环制冷机制冷，不需消耗任何液氮或液氦
• 基本系统温度范围：8K(1.5W冷头）10K(1.2W冷头）到350K，系统冷却时间<2小时
• 高温选件温度范围：20K到675K
• 探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉，探针臂上安装温度感器进行温度监测
• 控温稳定性：小于100K时，温度稳定性≤士50mK;全温度区间，温度稳定性≤士10
• 样品更换循环时间4小时
• 低振动设计
• 测量DC到67GHz
• 各种样品架适于低噪音，高频，高阻测量
• 最大测试样品尺寸51mm（2in)直径
• 最多可使用6个探针臂
• 探针臂可进行3轴调整和平面内士5度的调整
产品介绍
CPS-50是一个低成本不需要低温制冷剂的探针台，器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)，低温磁场探针台器件最大尺寸30mm。系统的探针、测线缆、样品架都有多种类型可供选择，可满足不同用户的需要。
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