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英铂携手Hanwa助力广州增芯搭建12寸晶圆级TLP&探针台测试系统

2025-02-11

产品从出厂检验到装机验收,每一步都严格遵守流程。为客户提供更好的服务,是我们一直以来追求的目标。


广州增芯科技有限公司由广州湾区智能传感器产业集团有限公司发起,于2021年4月在广州正式成立,主营业务是集成电路制造及研发设计服务,目前正在建设以传感器及配套专用ASIC芯片为主要产品的12英寸晶圆制造产线。


Hanwa阪和电子工业株式会社创始于1966年,几十年深耕ESD领域,作为专业的ESD设备制造商,有着丰富的产品线,可满足客户的多种需求,作为静电委员会成员之一,其具备标准制定的能力,服务过全球多家大厂,专业经验丰富。


英铂科学仪器是一家上海市高新技术&专精特新企业,在全国拥有10多个销售&售后点,在上海拥有全套Open Lab公开实验室。致力于半导体和微纳米领域电学测试完整解决方案。领域涵盖DC直流、RF射频、HP功率电子、光电、极低温磁场、ESD/TLP、PCB测试等等。为客户的研发、失效分析、可靠性、WAT、CP、Burn in等提供完整且具性价比的方案。

01装机现场


YB1200-A探针台
Hanwa HED-T5000 TLP测试仪

02装机产品介绍

Hanwa HED-T5000-HC测试仪


产品介绍

Hanwa HED-T5000用于半导体元器件静电保护电路抗静电能力的测试,通过该测试可以清楚的了解到元器件的抗静电能力的特性参数,器件开发人员通过这些参数可以了解到元器件ESD设计窗口,从而对元器件保护电路作进一步改进;

该设备也可通过给GATE端加DC电源,测试功率器件的SOA特性曲线。

产品优势

1.性能稳定,国内大厂的选择

2.搭配多个上升沿,满足不同需求

3.支持SOA测试,可同时施加多个偏置电压

4.测试软件简明直接,易操作易上手

5.硬件操作便捷,探头易切换易点针

产品应用

1.ESD模型等效分析

2.SOA测试

3.瞬态波形分析

YB1200-A探针台


产品介绍

YB1200-A是300mm手动探针台系统,可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

产品优势

1、单机多应用设计

•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用,如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性

2、具备工效学设计

•XY 轴微调的载物台设计

•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台

•两段式工作台快升把手设计,接触(contact) - 分离(loading),实现高可靠性、高效率性

•具备英铂科学仪器独有专利技术的气浮式移动样品台,搭配微调千分尺或丝杆位移

3、弹性选配与升级性

•另有多种晶圆载物台可做升级,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载,以完全支援您的应用需求

4、高压人机安全防护设计

•Platen 底部特征聚合物高压防护设计

•Chuck 独特安全隔离防护设计

•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆(标准 SHV Coaxial 接口)通用keithley&keysight 高压仪表

•红外感测 interlock 安全互锁机制

产品应用

该系统主要应用于晶圆级高低频电学特性的测试,可升级最高频达110G测试,满足于12寸、8寸、6寸、4寸、2寸及碎片等产品应用测试。具备多模块应用升级,如高温,防震屏蔽,光学等。

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