会议回顾 | LDMAS 2024圆满收官，金竟科技期待再会！

电子束曝光系列——Pharos 310电子束曝光系统

• 加速电压：200eV-30keV

• 电子束束流：10pA-200nA

• 电子束束斑尺寸：＜2.0nm@30keV

• 写场速度：最高可达到20MHz

• 分辨率(最小线宽)：＜15nm

• 拼接精度：≤士50nm（mean+3σ）

• 套刻精度：≤±50nm（mean+3σ）

• 样品台移动范围：100mm

• 采用自动进样系统，配置有光学导航系统

金竟科技率先在中国推出自主创新、品质可控、性能优异的电子束曝光系统整机设备：Pharos 310。该电子束曝光系统中多项关键技术指标达到国际一流水平，实现了电子曝光设备系统国产替代、自主可控的发展目标，产品成为实验室条件下进行亚微米至纳米级别光刻技术研发的利器。

电子束曝光系列——Pharos Ex图形发生器

• 图形拼接精度：≤±100 nm（含有高精度位移台）

• 图形套刻精度：≤±100 nm（含有高精度位移台）

• 扫描速度：最高至20 MHz

• 线宽测量：根据SEM类型，优于50nm（场发射扫描电镜）

• 配置高精度压电位移台

• 可选配电子束束闸及其控制器，信号开关速度优于50ns

图形发生器是电子束曝光设备的核心部件。扫描电子显微镜配备图形发生器可搭建成为实验室级电子束曝光设备，进行微纳器件制备工作。适用于科研院所和高校MEMS、光电子、微电子等实验室。

阴极荧光成像系统-Sunny

• 荧光收集方式：直接探测

• 探测波段范围：200-900 nm

• 最大成像范围：直径2.5 mm

• 接口类型：电镜样品室的平插接口

• 可与主流扫描电镜耦合，实现阴极荧光全谱成像、去磷光成像

阴极荧光成像系统采集电子束与样品相互作用下产生的阴极荧光信号并进行成像分析。阴极荧光成像系统作为电镜的功能部件，能够在微米、纳米尺度下研究材料的发光特性，主要应用于地质领域，可以辅助定年、找油、找气、找矿。此外，阴极荧光成像系统还在半导体材料的缺陷检测、微电子、考古等领域也有广泛的应用。

阴极荧光成像与光谱探测系统-Rainbow

• CL功能：单色、全色、RGB CL成像。可采集点、线、面CL光谱。具备波长单色器成像功能，采用PMT探测器对用户感兴趣的波长快速成像

• 光谱仪采用C-T结构设计,采用超环面影像校准设计，全光谱消⾊差，覆盖光谱范围广

• 高性能椭球反射镜采集，CL收集效率⾼，总效率可达到90%(Lambertian source)，探测器类型：单通道探测器(PMT)、 多通道探测器(CCD)

• 光谱响应范围：250-1100nm

• 增强型光谱仪：焦距320mm、3光栅，采用68×68大面积光栅，提升光通量的检测能力；光谱仪耦合模块，精确自适应匹配CL准直光束与光谱仪F数(孔径)，F=4.2

• CL光强成像采用高速PMT探测器，波段响应范围：160-900nm

• CCD光谱分辨：0.2nm(@1200g/mm光栅，CCD像素尺寸15μm)；PMT分辨率:0.2nm(@1200g/mm光栅)

• 专业CL光谱采集，独立操作软件，轻松获取与分析数据，开源软件使整个CL成像流程轻松简单；具备点扫描、线扫描、面扫描，全谱、单谱、高光谱成像的功能，全中文操作界面

Rainbow能够结合电子显微分析系统，实现矿物、半导体等材料的发光光谱的全谱及单谱扫描成像、光谱采集以及光谱面分布探测。系统配备光谱收集镜及光纤传输接口、信号调理采集系统、电子发生器、成像光谱仪、多通道及单通道探测器，实现电子扫描信号与探测器数据采集的严格同步，获得光谱成像、光谱面分布数据。

扫描电镜超低温冷台-GSC MK系列

• 工作介质：液氮/液氦

• 最低温度：80K(液氮) / 5K(液氦)

• 最高温度：400K

• 工作环境：真空环境(<10-2Pa) / 真空环境(<10-3Pa)

• 最大降温速率：>20K/min

• 最大升温速率：30K/min

• 控温精度：50mK(400K)，10mK(5K)

• 耗液量：液氮(<0.3L/h) / 液氦(1L/h)

超低温冷台是扫描电镜的功能附件，可使样品处于极低温环境。适用于物理、化学、材料科学和其他科学领域中超低温原位显微研究场景。