英铂探针台助力上海XXX有限公司搭建低频电学测试系统

2024
英铂探针台助力上海XXX有限公司搭建低频电学测试系统

产品从出厂检验到装机验收，每一步都严格遵守工作流程。为客户提供更好的服务，是英铂一直以来追求的目标。

英铂科学仪器是一家上海市高新技术&专精特新企业，在全国拥有10多个销售&售后点，在上海拥有全套Open Lab公开实验室。致力于半导体和微纳米领域电学测试完整解决方案。领域涵盖DC直流、RF射频、HP功率电子、光电、极低温磁场、ESD/TLP、PCB测试等等。为客户的研发、失效分析、可靠性、WAT、CP、Burn in等提供完整且具性价比的方案。

01装机现场

YB600-A手动探针台

02装机产品介绍

产品介绍

YB600是150mm手动探针台系统，可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

产品优势

1、单机多应用设计
•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性
2、具备工效学设计
•XY 轴微调设计/Y 轴快速导入导出/载物台设计
•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台
•两段式工作台快升把手设计,接触(contact） - 分离（loading)，实现高可靠性、高效率性
•具备英铂科学仪器独有专利技术的气浮式移动样品台，搭配微调千分尺
3、弹性选配与升级性
•另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载，以完全支援您的应用需求
4、高压人机安全防护设计
•Platen 底部特征聚合物高压防护设计
•Chuck 独特安全隔离防护设计
•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆（标准 SHV Coaxial 接口）通用
keithley&keysight 高压仪表
•红外感测 interlock 安全互锁机制

产品应用

该系统主要应用于晶圆级高频电学特性的测试，可升级最高频可达110G测试，满足于6寸及以下产品应用。具备多模块应用升级，如高温，防震屏蔽，光学等。